第260章 步步惊心（2）(2/2)

这也就是所谓退火工艺的由来。

根据中村自己的解释，他是在非常偶然情况下，得到了这个意外结果。

在重复电子束照射实验前，他不小心把工作台给加热了！于是，他就发现，在电子束辐照过程中，在样品下面加热可以获得更好的结果。

对此现象，他又继续研究，进而确认，仅仅依靠加热就可以获得-gan。而退火工艺的原理，中村大侠并没有给出合理的解释。

从此，热退火就成为了制作蓝光led的标准工艺，沿用至今。

当然了，事情是否真偶然，谁也不知道。

讲故事谁不会？

退火工艺的背后原理，在很久以后才被人揭示。

-gan中的ocvd外延过程中引入的h钝化，形成-h络合物。无论是低能电子辐照还是热退火，都是通过借助外部能量破坏-h键而激活杂质。

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这两个工艺步骤的实现，足以说明中村的逆天运气！

前人耗时五六年的成果，他在很短的时间内，全部推翻，而且找到了更好的方式！

而他发现的这些工艺步骤，即使在三十年后，也无人能改！

有没有这么一种可能：

这些工艺，之所以无人能改，因为它们实际就是三十年后的成熟工艺！但被提前拿到了1990年！