第二百九十四章 截胡(1/2)

“北大路先生，你看我们的激光技术怎么样？这套准分子激光设备，是我们泛翰研究院自行研制的，能够生成193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑，将日本检查团领进了实验室。

一七三所前研究员江清月，正是在这个实验室里，进行着自己的工作。所谓准分子激光，并非是对激光本身属性进行的描述，而是特指的发出激光物质为准分子。

准分子激光一般是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体，受到电子束激发形成的激光。光子能量波长范围在157－353nm之间，由于激光是在气体受到外来能量的激发，所引起的一系列物理及化学反应中，曾经形成但转瞬即逝的分子发出的，所以被称之为准分子激光。

这种激光的一个特点是寿命极短，只有几十毫微秒的时间。超过这个时间，发出激光的分子，就会迅速还原成原本的气体状态。其中193nm波长的激光，就是用来作为治疗近视等眼部疾病使用的激光刀。同时，193nm的激光也是后世光刻机普遍使用的波长。

江清月在众人进入的时候，正操作着一台氟氩气体激发的准分子激光器，测试将激光光源进行多次聚焦之后再恢复成平行状态。

城三太郎几乎是看到的第一眼，心里就大喊了一声“八嘎雅路！”。从几组透镜的布置来看，泛翰集团显然已经是在研究0.35微米工艺的光刻机了！光刻机的加工精度不同，使用的透镜数量、种类和布置都有非常多的讲究。

作为尼康光刻机项目的参与者，城三太郎对当前最先进的0.35微米工艺光刻机，透镜的布置当然是了若指掌。他百分之百的肯定，泛翰集团目前已经摸到了这项技术的门路，实现技术突破恐怕只是时间问题了！

“赵部长，你这是做什么？”江清月看到一行人挤进了实验室里，皱着眉头问道。

“小江啊，快来我给你介绍一下！”赵大健呵呵笑着，摆了摆手说道：“这是日本东芝来咱们泛翰研究院的考察团，给国际友人们汇报一下咱们的研究进度，说不定还能给你的项目指点一二呢。”

江清月疑惑的看了赵大健一眼，她在泛翰研究院只是比较基层的研究员，级别是比不上赵大健的。但赵大健负责的是运营部，本身又管不到技术部的事情。她抬头向外面看去，却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头，这才放下了心来。

“我们的试验正在测试高密度石英材料制作的镜头，在经过多次反射折射之后，进行色差补偿的方案……”

“色差补偿！”城三太郎微微一愣，脸上的表情就有些僵硬了。如果说之前他还只是怀疑，那么听到江清月的研究内容，就几乎是坐实了泛翰集团在0.35微米工艺的技术上，肯定是取得了不小的突破。色差补偿是光刻机研究领域，非常重要的内容。通过使色差最小化，能够抑制由激光带宽变动所引起的光学邻近效应。比如局部光斑、入射角和热象差、偏振状态控制能力的保持。

这些技术难题，直接决定了反射镜的数量与类型。这些镜头设计的细节，每一点改进都意味着距离成功更近了一步。

“我能看看你们的实验记录吗？”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求，中国人或许可以摆一个花架子来骗他，但绝对没有办法编出一套正确的实验结果来。如果这种实验记录都能编出来，那更说明他们掌握了这项技术……

“小江，还不快把你们的实验记录拿出来，给城三太郎先生看看？”赵大健说着，还回过身来致歉道：“城三先生是东芝方面的光刻技术专家，您稍微指点两句，肯定会让我们获益良多。”

“哪里，我想以中国人的智慧，一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录，也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人，对汉语阅读就越流利，倒是不用担心他会看不懂实验记录。

城三太郎打开实验记录，粗粗的扫了两眼，不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行，产生的变化都不相同。193nm的准分子激光，想要应用在光刻机上，就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料，全面的了解镜头对激光产生的所有影响。

从实验记录的结果上面来看，显然泛翰集团已经对高密度石英，进行了全面的激光测试。测试进度至少已经达到了80的水平，要知道当全部测试完成之后，接下来要进行的就是镜片设计工作了。进入这个阶段，基本就可以看做是0.35微米工艺光刻机技术开发，进入到最后的步奏了。

“赵桑，这些数据都是你们自己的镜头，测试出来的结果吗？”城三太郎颇为焦急的问道，他这样的问题可以说是非常的不礼貌，但这个时候已经没有心情去计较这种小事了。

能够测试出完全正确的镜头数据，这说明中国人已经掌握了0.35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来说，简直就像是在乡下小河沟里，突然钓出来一条大白鲨一样。

当今国际上，如果把芯片生产技术分成三个档次。那么1.2到0.8微米，可以算是上点档次的三流技术，至于1.2微米以上、乃至2微米以上的技术，已经基本没有存在的价值了。而0.5微米技术，可以算是二流技术，是当今世界上晶圆厂的主流水平。至于0.35微米工艺，就连尼康也不过才刚刚掌握而已。